该厂为8英尺晶圆产出线配备的超蒸馏水机系统,每一天会产生含硅污水150吨。污一般的水都虽无血本属,但硅含量的高易结渣,且功率电阻率需起到18MΩ·cm才能够轻工业废水清理。已有清工院艺时未符合新修订的《电子器材轻工业水空气有机废气产生规范标准》(GB39731-2020)尤其是产生允许值。
废渣营养成分显著特点
注意感染物
:胶体溶液硅(200-300mg/L)、小粒硅(孔径0.1-1μm)
特种耍求
:TOC<10μg/L,硼浓度<5μg/L
水污染属性
:低导电率(<50μS/cm)但硅氧化物要素简化
处置加工制作工艺 流程
的创新选择"梯级膜拆分+电去阳离子"搭配组合方法:
微滤预处置
:1μm工业陶瓷膜过滤大颗料硅,通量保持80LMH
阴阳离子置换不饱和树脂
:D201大孔硅橡胶首选性离心分离硅酸大分子
二级考试RO控制系统
:弟一段收回率60%,第三段主要包括高脱硼膜构件
EDI电去阴阳离子
:交流电孔隙率2A/m²,不断地消除的残留物正离子
太阳光的紫外线除菌
:254nmUV线残留量40mJ/cm²
水平突出
开放专用箱阻硅剂(设计胺类软型物),减轻膜废弃物时间间隔3倍
EDI功能创新性流道装修设计,硅快速清理率提升自己至99.8%
优酷云硅概述仪(估测规模0.1-500μg/L)建立招商精准调控
运营效益
经第三个方的检测:
总硅从280mg/L降低0.05mg/L
硼含磷量从8μg/L降下来0.3μg/L
软件回收分类处理率从原40%提高自己至68%
膜进行更换周期怎么算廷长至5年,年运转成本预算大幅度降低35%