半导体芯片加工废水怎么处理|半导体芯片加工废水如何处理
该项目底色
该半导体技术企业的座落长三边形的地区,具体生孩子8寸大和12寸大晶圆,日尾气废气废排水量约2000吨。会因为生孩子技术较为复杂,废河中富含许多种难生物降解有机的物和血本属铁离子,中国传统外理技巧难易能够满足逐步坚持原则的尾气废气条件。
废液组成及从何而来
工业生活污水通常起体现了十二个阶段:晶圆切工业生活污水内含更多硅粉和切液余留;化学工业机械制造打磨工业生活污水食含橡胶胶体部分硅和抛光颗粒肥料;刻蚀洗涤工业生活污水内含氟化物、铜阴阳离子等血本属;光刻新工艺工业生活污水则内含光阻剂等设计环保问题物。水硬度优缺点是COD高(800-1500mg/L)、氟化物浓硫酸浓度高(200-400mg/L)、飘浮物多且内含微量分析血本属。
补救工艺步奏步奏
选择"物理化学预治理+生物化治理+厚度治理"的组装加工:
调结池均匀生活饮用水用水量
混疑积淀消除浮悬物和胶体溶液成分
生物石雕文化沉淀物中法主要正确处理氟化物,加药系统钙盐变成氟化钙石雕文化沉淀物中
油脂水解碱化池提生焦化废水可生物化学性
接处腐蚀池光降解有机物影响物
活性炭吸附性炭活性炭吸附塔完成厚度加工
膜分离处理模式保障溢水环境质量相对稳定
对含铜废气分开设有阴离子置换体系,环保再生资源回收有的价值的黑色金属铜。
结果特效
顶目俊工后程序运行安全稳定,满水后COD<50mg/L,氟化物渗透压<5mg/L,铜阴离子渗透压<0.3mg/L,数据来规定均远高于国家地区《电子无线实业水环保问题物排卸规定》(GB 39731-2020)。每人每年可削减COD排卸约300吨,氟化物排卸约50吨,二手回收铜黑色金属约2吨,体现了区域资金收益与资金资金收益的共赢。