东莞某半导集成块生产商厂,晶圆办理环节中引起含硅、氟的非常规废液,结构设计办理投资额1200吨/日。废液成分表繁多,内含纳米技术级硅颗粒肥料及盐酸,中国传统办理具体方法不好达到标准。
废气营养成分及来历
具体水排放物
:电解质溶液硅(100-500nm比表面积)、氟化合物(200-300mg/L)、异丙醇
来源于繁琐流程
:晶圆刻蚀污废水 处理方法(45%)、CMP催化机械制造镜面抛光污废水 处理方法(40%)、机情况呢水(15%)
工作鑫霖环保的流程
不断创新采用了"物理沉垫+重型膜区分"技能自驾路线:
钙盐凝固
:污泥脱水氯化钙清掉氟正离子(转为CaF2结晶)
斜板沉淀池反应迟钝
:黏结二沉池剂达到橡胶胶体部分硅脱稳
管式微滤
:0.1μm内径膜挪作他用微细粉末
反进行渗透程序
:脱盐率>98%,收购率75%
化掉晶体
:浓水段保证氟化物零废气
最中功能
氟化物氧浓度:<8mg/L(超过國家两级标准化10mg/L)
硅硫含量:<5mg/L
水资原工业废水处理率:70%于冷确塔保湿
垃圾减量化:汽化残留物量较传统性艺减轻60%