该晶圆打造厂坐落华中城市，最主要的种植加工84英寸半导晶圆，每日生活污水排卸量约800吨。伴随种植加工时中运用很大氢氧化钠去晶圆蚀刻，形成生活污水里氟化物质量浓度高达hg200-300mg/L，远超地方排卸的标准（10mg/L下面的）。 生产废水因素及起源 废气重点位于三种关键环节： 晶圆蚀刻制作工艺 ：含高氨水浓度氟化物（HF）、硝酸银及一些血本属 化工自动化设备磨光（CMP）焦化废水 ：含納米级硅颗粒剂、可挥发络合剂 环保设备擦拭废水处理 ：含异丙醇、化学需氧量等有机质物 除理施工工艺操作流程 用"化学上积淀出的+沥青混凝土积淀出的+长度过滤程序"一级治理 软件： 特一级加工处理 ：污泥脱水氯化钙和氢腐蚀钙，产生氟化钙析出，氟化物剔除率达85% 二次解决 ：加上PAC（聚合反应氯化铝）和PAM（高密度聚乙烯酰胺），我们要除悬浊液态废弃物物 三类处置 ：能够多有机溶剂特异性炭管道过滤器和特异性炭溶解，有水出氟化物质量浓度平稳在8mg/L下例 核心专用设备涵盖：pH自己可以调节软件、斜管滤渣池、板框压泥机（活性污泥过滤）。 终于结果 工程项目行驶六年监测方案的数据呈现： 氟化物大概浓硫酸浓度：7.2mg/L（超过国规范标准） COD彻底清除率：92% 活性污泥含水分率：≤65% 年回收使用氟化钙副车辆约150吨，实现目标资原化使用